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◆无机类高纯气体

 

气体 规格 杂质含量(PPM) 执行标准
H2 99.99% O2+Ar≤5,H2≤60,CO≤5,CO2≤5,CH4≤10,H2O≤30 GB/T7445-1995
99.999% O2+Ar≤1,H2≤5,CO≤1,CO2≤1,CH4≤1,H2O≤3 GB/T7445-1995
N2 99.999% O2≤3,H2≤1,CO、CO2、CH4总含量≤3,H2O≤5 GB 8980-1996
99.9993% O2≤2,H2≤1,CO、CO2、CH4总含量≤2,H2O≤2.6 GB 8980-1996
99.9996% O2≤1.0,H2≤0.5,CO、CO2、CH4总含量≤1,H2O≤1.0 GB 8980-1996
O2 99.995% Ar≤10,N2≤20,CO2≤1,总烃含量≤2,水分、露点℃-69 GB/T14599-93
99.998% Ar≤5,N2≤10,CO2≤1,总烃含量≤1,水分、露点℃-70 GB/T14599-93
99.999% Ar≤2,N2≤50,CO2≤0.5,总烃含量≤0.5,水分、露点℃-72 GB/T14599-93
CO 99.99% N2≤250,CO2≤20,H2O≤10,O2≤150,H2≤5  
99.95% N2≤400,THC≤10,O2:10,H2O:20 光明院标准
99.9% N2≤600,H2O≤20,O2≤200,CO2≤100,H2≤100 XN/QB-206-86
CO2 99.99% O2≤10,N2≤40,H2O≤20 XN/QB-207-86
99.95% O2≤50,N2≤300,H2O≤50 XN/QB-207-86
SO2 99.8% 残渣≤300,酸≤300,H2O≤1000  
N2O 99.99% N2≤10,N2≤30,H2O≤30,CO2≤10,THC≤5  
SF6 99.9% Air≤500,CF4≤500,H2O≤8,酸≤0.3,可溶氟化物≤0.1矿物油≤10,无毒 GB/T2022-89
H2S 99.99% Air≤50,CO2≤30,H2O≤10,THC≤10  
99.9% Air≤500,CO2≤200,H2O≤200,THC≤100  
NH3 99.999% O2≤2,N2≤5,CO≤1,烃(C1~C3)≤1,H2O≤5,总杂质含量≤10 GB/T14601-93
COS 97.5%    
NO 99.9%