| 气体 |
规格 |
杂质含量（PPM） |
执行标准 |
| Ar |
99.999～99.9996% |
5N级N2≤5，O2≤2，H2≤1，总碳含量≤2，H2O≤4 |
GB/T10624-1995 |
| He |
≥99% |
Ne(H2)，O2(Ar)，N2，CH4总碳含量≤1%，H2O露点-43℃ |
GB/T4844.1-1995 |
| 99.99～99.995% |
4N级Ne≤40，H2≤7，O2（Ar）≤5，N2≤25，CO≤1，CO2≤1，CH4≤1，H2O≤20 |
GB 4844.2-1995 |
| 99.999～99.9996% |
5N级Ne≤4，H2≤1，O2(Ar)≤1，N2≤2，CO≤0.5，CO2≤0.5，CH4≤0.5，H2O≤3 |
GB/T4844.3-1995 |
| Ne |
99.99% |
H2≤3，H2≤80，O2(Ar)≤2，N2≤10，总碳含量≤2，H2O≤3 |
GB/T17873-1999 |
| 99.999% |
N2≤2，He≤6，O2≤1，CO2≤0.5，CO≤1，H2O≤2，CH4≤0.5 |
Q/SGYQC001-2001 |
| Kr |
99.99% |
N2≤20，O2+Ar≤5，H2≤2，总碳≤3，H2O≤3，Xe≤50，总杂质含量≤100 |
GB/T5829-1995 |
| 99.995% |
N2≤10，O2+Ar≤5，H2≤1，总碳≤2，H2O≤3，Xe≤30，总杂质含量≤50 |
GB/T5829-1995 |
| 99.999% |
N2≤3，O2+Ar≤2，H2≤0.5，总碳≤1，H2O≤2.6，Xe≤4，总杂质含量≤10 |
GB/T5829-1995 |
| Xe |
99.99% |
N2≤20，O2+Ar≤5，H2≤2，总碳≤3，H2O≤3，Kr≤50，N2O≤1，总杂质含量≤100 |
GB/T5829-1995 |
| 99.995% |
N2≤10，O2+Ar≤4，H2≤1，总碳≤2，H2O≤3，Kr≤30，N2O≤1，总杂质含量≤50 |
GB/T5829-1995 |
| 99.999% |
N2≤1，O2+Ar≤2，H2≤0.5，总碳≤1，H2O≤2.5，Kr≤4，N2O≤0.5，总杂质含量≤10 |
GB/T5829-1995 |
